薄膜技术在精密电阻中的应用

摘要：薄膜技术已经广泛的应用在包括薄膜贴片电阻在内的精密元器件生产制造领域，本文主要介绍了薄膜技术为风华薄膜电阻在低温漂、高精度、高稳定性和耐湿性方面带来的成果。
一、薄膜技术(thin film technique) 是薄膜制备、测试等相关的各种技术的总称。薄膜是一种特殊的物质形态，由于其在厚度这一特定方向上尺寸很小，只是微观可测的量，而且在厚度方向上由于表面、界面的存在，使物质连续性发生中断，由此使得薄膜材料产生了与块状材料不同的独特性能。薄膜的制备方法很多，如气相生长法、液相生长法(或气、液相外延法)、氧化法、扩散与涂布法、电镀法等等，而每一种制膜方法中又可分为若干种方法。薄膜技术涉及的范围很广，它包括以物理气相沉积和化学气相沉积为代表的成膜技术，以离子束刻蚀为代表的微细加工技术，成膜、刻蚀过程的监控技术，薄膜分析、评价与检测技术等等。现在薄膜技术在电子元器件、集成光学、电子技术、红外技术、激光技术以及航天技术和光学仪器等各个领域都得到了广泛的应用，它们不仅成为一间独立的应用技术，而且成为材料表面改性和提高某些工艺水平的重要手段。
二、薄膜精密电阻厚膜电阻和SSM薄膜电阻在材料和工艺上的区别直接导致了两种电阻在性能上的差异。厚膜电阻一般较差，10%，5%，1%是常见精度，而南京南山代理的风华薄膜电阻则可以做到0.01%万分之一精度，0.1%千分之一精度等。同时厚膜电阻的上很难控制，一般较大，同样的，风华薄膜电阻则可以做到非常低的温度系数，这样电阻阻值随温度变化非常小，阻值稳定可靠。所以风华高科生产的薄膜贴片电阻常用于各类仪器仪表，医疗器械，电源，电力设备，电子数码产品等。

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